2025.12.16 17:30【EZway生活報報╱記者林盈甄╱綜合報導】

為強化台灣半導體人才培育與前瞻研究能量，崇越科技今（16）日於台北內湖總部捐贈三座半導體模型予國立清華大學半導體研究學院，協助教學展示與研究推廣。同時，由崇越科技董事長潘重良與清華半導體研究學院院長 被譽為「浸潤式微影之父」的林本堅博士共同簽署合作意向書，─宣布雙方將展開更深度的產學鏈結，攜手培育下一代高階半導體科技人才。

半導體是國家戰略產業，而人才更是維持競爭力的關鍵。林本堅院長指出，清華半導體學院整合清華教學與研究資源，以打造「國際領先的半導體研究重鎮」為目標。面對全球半導體技術快速迭代、跨領域整合與供應鏈競爭升高，此次攜手崇越科技，有助加速推動產學協作，增強台灣在先進製程與材料領域的人才與研究能量。

林本堅院長以突破性「浸潤式微影技術」享譽國際，將曝光介質從乾式微影的「空氣」，改以「純水」取代，突破解析度極限，使摩爾定律在 45 奈米世代後得以延續。崇越科技亦參與了這場浸潤式微影技術革命，因應客戶製程需求，與客戶、日本信越化學三方合作，從材料端著手，精準調校純水在光阻表面的接觸角、控制光阻的表面張力、優化防水層的特性，並降低浸潤製程中可能造成的離子遷移與缺陷問題，最終成功開發出可支援浸潤式微影量產的光阻材料。崇越科技董事長潘重良分享：「半導體材料雖然微小，但往往是推進一個製程世代、甚至改寫技術路線的關鍵。」

未來五年，崇越科技預計每年投入 300 萬元贊助清華半導體學院，期待未來與清華半導體學院於材料開發、製程技術研發能有更深入的合作，進一步強化台灣的半導體自主創新能力。

崇越科技捐贈之三座半導體模型，將提供清華半導體學院於教學展示與對外推廣。三座模型呈現晶圓廠實際設計的立體架構；以及各項廠務運作系統模型，包括無塵室、機電空調、超純水、氣體供應、化學品供應、廢水與廢氣處理系統等；並透過擬真模型展示無塵室內的環境，與擴散、微影、蝕刻、清洗、薄膜沉積、CMP、離子植入等主要製程設備，有助學生與參訪者更直觀理解晶圓建廠、製程流程、設備運作及材料應用。

崇越集團副董事長暨崇越科技永續長賴杉桂博士表示，此次捐贈的半導體模型，展現崇越多年深耕半導體材料、設備及廠務系統的實務經驗。未來崇越科技將持續透過教育支持、技術合作與研發投入善盡企業社會責任，期望與清華半導體學院共同培育更多優秀半導體人才、創造永續價值。